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Issue
Ann. Phys. Fr.
Volume 17, Number C1, juin 1992
Page(s) 133 - 140
DOI https://doi.org/10.1051/anphys/1992026
Published online 01 June 2004
Ann. Phys. Fr., Vol. 17, N°C1 juin 1992, pp. 133-140
DOI: 10.1051/anphys/1992026

Intérêt des sources X pour la production en microélectronique

F. Rousseaux

Laboratoire de Microstructures et de Microélectronique, L2M/CNRS, 196 avenue Henri Ravera, BP. 107, 92225 Bagneux Cedex, France





© EDP Sciences 1992
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