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Issue
Ann. Phys. Fr.
Volume 19, Number C1, octobre 1994
Page(s) C1-229 - C1-236
DOI https://doi.org/10.1051/anphys/1994054
Published online 01 June 2004
Ann. Phys. Fr., Vol. 19, N°C1 octobre 1994, pp. C1-229–C1-236
DOI: 10.1051/anphys/1994054

Source VUV pour les dépots photochimiques de couches minces diélectriques

Y.I. Nissim1, J. Flicstein1, Y. Vitel2, O. Dulac1, C. Debauche1 et C. Licoppe1

1  France Telecom/PAB/CNET, Laboratoire de Bagneux, 196 avenue H. Ravera, BP. 107, 92225 Bagneux cedex, France
2  Laboratoire de Physique des Plasmas Denses, Université Pierre et Marie Curie, Tour 12 E5, 4 place Jussieu, 75252 Paris cedex 05, France





© EDP Sciences 1994
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