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Issue
Ann. Phys. Fr.
Volume 19, Number C1, octobre 1994
Page(s) C1-253 - C1-260
DOI https://doi.org/10.1051/anphys/1994057
Published online 01 June 2004
Ann. Phys. Fr., Vol. 19, N°C1 octobre 1994, pp. C1-253–C1-260
DOI: 10.1051/anphys/1994057

Contrôle de procédés durant le micro-usinage de céramique par laser à excimère

C. Stauter1, J. Fontaine1 et A. Biernaux2

1  Laboratoire d'Applications des Lasers, Ecole Nationale Supérieure des Arts et Métiers de Strasbourg, 24 Bld de la Victoire, 67000 Strasbourg, France
2  Société IREPA LASER, Parc d'Innovation d'Illkirch, 67400 Illkirch, France





© EDP Sciences 1994
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