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Issue
Ann. Phys. Fr.
Volume 22, Number C1, février-avril 1997
Page(s) C1-185 - C1-196
DOI https://doi.org/10.1051/anphys/1997039
Published online 15 February 1997
Ann. Phys. Fr., Vol. 22, N°C1, février-avril 1997, pp. C1-185–C1-196
DOI: 10.1051/anphys/1997039

0,1 µm en production de masse en lithographie optique ?

D. Henry, P. Schiavonne and O. Toublan

France Telecom, Centre National d'Études des Télécommunications, BP. 98, 38243 Meylan cedex, France



© EDP Sciences 1997
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