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Issue
Ann. Phys. Fr.
Volume 22, Number C1, février-avril 1997
Page(s) C1-227 - C1-228
DOI https://doi.org/10.1051/anphys/1997044
Published online 15 February 1997
Ann. Phys. Fr., Vol. 22, N°C1, février-avril 1997, pp. C1-227–C1-228
DOI: 10.1051/anphys/1997044

Solubilité du carbone et relaxation des contraintes dans des films de Si1-x-y GexCy préparés par implantation ionique et recristallisation par laser à excimères

A. Grob, J.J. Grob, D. Muller, B. Prévot and E. Fogarassy

Laboratoire PHASE-CNRS (UPR 292), BP. 20, 67037 Strasbourg cedex 2, France



© EDP Sciences 1997
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