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Issue
Ann. Phys. Fr.
Volume 22, Number C1, février-avril 1997
Page(s) C1-229 - C1-236
DOI https://doi.org/10.1051/anphys/1997045
Published online 15 February 1997
Ann. Phys. Fr., Vol. 22, N°C1, février-avril 1997, pp. C1-229–C1-236
DOI: 10.1051/anphys/1997045

Recuit et gravure induits par laser sur silicium : expériences et simulations numériques

B. Bourguignon1, B. Dragnea1, B. Boulmer2, J.-P. Budin2 and D. Débarre2

1  Laboratoire de Photophysique Moléculaire du CNRS, Bâtiment 213, Université de Paris-Sud, 91405 Orsay cedex, France
2  Institut d'Électronique Fondamentale associé au CNRS, Bâtiment 220, Université de Paris-Sud, 91405 Orsay cedex, France



© EDP Sciences 1997
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