Free Access
Ann. Phys. Fr.
Volume 22, Number C1, février-avril 1997
Page(s) C1-237 - C1-244
Published online 15 February 1997
Ann. Phys. Fr., Vol. 22, N°C1, février-avril 1997, pp. C1-237–C1-244
DOI: 10.1051/anphys/1997046

Micro-usinage par laser pour interconnexions micro-électroniques

P. Morillon, J.-Cl. Farcy, F. Gilbert, G. Hélias and G. Legeay

SAT/SII-T, BP. 130, 22103 Dinan, France

© EDP Sciences 1997
First page of the article