Source VUV pour les dépots photochimiques de couches minces diélectriquesY. I. Nissim, J. Flicstein, Y. Vitel, O. Dulac, C. Debauche and C. LicoppeAnn. Phys. Fr., 19 (1994) C1-229-C1-236DOI: https://doi.org/10.1051/anphys/1994054
