Solubilité du carbone et relaxation des contraintes dans des films de Si1-x-y GexCy préparés par implantation ionique et recristallisation par laser à excimèresA. Grob, J. J. Grob, D. Muller, B. Prévot and E. FogarassyAnn. Phys. Fr., 22 (1997) C1-227-C1-228DOI: https://doi.org/10.1051/anphys/1997044
