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Issue
Ann. Phys. Fr.
Volume 22, Number C1, février-avril 1997
Page(s) C1-31 - C1-31
DOI https://doi.org/10.1051/anphys/1997004
Published online 15 February 1997
Ann. Phys. Fr., Vol. 22, N°C1, février-avril 1997, pp. C1-31–C1-31
DOI: 10.1051/anphys/1997004

Laser à excimère de forte puissance pour le recuit du silicium : perspectives d'un laser de 50J

M. Stehle, B. Godard and D. Zahorski

SOPRA, 26 rue Pierre Joigneaux, 92270 Bois-Colombes, France



© EDP Sciences 1997
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