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Ann. Phys. Fr.
Volume 19, octobre 1994
UVX 1994 - 2e Colloque sur les Sources Cohérentes et Incohérentes UV, VUV et X - Applications et développements récents
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| Page(s) | C1-185 - C1-186 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/anphys/1994047 | |
| Published online | 01 June 2004 | |
Ann. Phys. Fr., Vol. 19, C1 octobre 1994, pp. C1-185-C1-186
Detection in the nanometer scale of particles generated in an Ar-SiH4 radiofrequency low pressure discharge
GREMI, UFR Sciences, Université d'Orléans, BP. 6759, 45067 Orléans cedex 2, France
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© EDP Sciences, 1994
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