Free Access
Issue |
Ann. Phys. Fr.
Volume 22, février-avril 1997
UVX 1996 - 3e Colloque sur les Sources Cohérentes et Incohérentes UV, VUV et X - Applications et développements récents
|
|
---|---|---|
Page(s) | C1-229 - C1-236 | |
DOI | https://doi.org/10.1051/anphys/1997045 | |
Published online | 15 February 1997 |
Ann. Phys. Fr., Vol. 22, C1 février-avril 1997, pp. C1-229-C1-236
Recuit et gravure induits par laser sur silicium : expériences et simulations numériques
1
Laboratoire de Photophysique Moléculaire du CNRS, Bâtiment 213, Université de Paris-Sud, 91405 Orsay cedex, France
2
Institut d'Électronique Fondamentale associé au CNRS, Bâtiment 220, Université de Paris-Sud, 91405 Orsay cedex, France
Cet article ne possède pas de résumé.
© EDP Sciences, 1997
First page of the article