Source VUV pour les dépots photochimiques de couches minces diélectriques Y. I. Nissim, J. Flicstein, Y. Vitel, O. Dulac, C. Debauche and C. Licoppe Ann. Phys. Fr., 19 (1994) C1-229-C1-236 Published online: 01 June 2004 DOI: 10.1051/anphys/1994054