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Ann. Phys. Fr.
Volume 19, octobre 1994
UVX 1994 - 2e Colloque sur les Sources Cohérentes et Incohérentes UV, VUV et X - Applications et développements récents
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| Page(s) | C1-229 - C1-236 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/anphys/1994054 | |
| Published online | 01 June 2004 | |
Ann. Phys. Fr., Vol. 19, C1 octobre 1994, pp. C1-229-C1-236
Source VUV pour les dépots photochimiques de couches minces diélectriques
1
France Telecom/PAB/CNET, Laboratoire de Bagneux, 196 avenue H. Ravera, BP. 107, 92225 Bagneux cedex, France
2
Laboratoire de Physique des Plasmas Denses, Université Pierre et Marie Curie, Tour 12 E5, 4 place Jussieu, 75252 Paris cedex 05, France
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© EDP Sciences, 1994
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