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Ann. Phys. Fr.
Volume 17, juin 1992
UVX 1992 - 1er Colloque sur les Sources Cohérentes et Incohérentes UV, VUV et X - Applications et développements récents
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| Page(s) | 59 - 60 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/anphys/1992011 | |
| Published online | 01 June 2004 | |
Ann. Phys. Fr., Vol. 17, C1 juin 1992, pp. 59-60
Réacteur VUV à décharge interne pour le dépôt en couches minces de silicium amorphe, d'oxyde et de nitrure de silicium
Centre de Recherches Nucléaires (CRN), Laboratoire PHASE (UPR du CNRS n°292), BP. 20, 67037 Strasbourg Cedex 2, France
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© EDP Sciences, 1992
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