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Ann. Phys. Fr.
Volume 17, juin 1992
UVX 1992 - 1er Colloque sur les Sources Cohérentes et Incohérentes UV, VUV et X - Applications et développements récents
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| Page(s) | 57 - 58 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/anphys/1992010 | |
| Published online | 01 June 2004 | |
Ann. Phys. Fr., Vol. 17, C1 juin 1992, pp. 57-58
Micro-usinage par laser à excimères
1
Industrial Laser Partners, BP. 7, 87310 Saint Laurent sur Gorre, France
2
URA 320, "Matériaux Céramiques et Traitements de Surface", Faculté des Sciences, 123 rue Albert Thomas, 87000 Limoges, France
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© EDP Sciences, 1992
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