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Ann. Phys. Fr.
Volume 22, février-avril 1997
UVX 1996 - 3e Colloque sur les Sources Cohérentes et Incohérentes UV, VUV et X - Applications et développements récents
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Page(s) | C1-249 - C1-250 | |
DOI | https://doi.org/10.1051/anphys/1997047 | |
Published online | 15 February 1997 |
Ann. Phys. Fr., Vol. 22, C1 février-avril 1997, pp. C1-249-C1-250
Micro-usinage par impulsions laser UV : diagnostic d'interaction
1
Laboratoire d'Application des Lasers, ENSAIS, 24 boulevard de la Victoire, 67084 Strasbourg cedex, France
2
IREPA-LASER, Pôle API, 67400 Illkirch, France
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© EDP Sciences, 1997
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