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Ann. Phys. Fr.
Volume 22, février-avril 1997
UVX 1996 - 3e Colloque sur les Sources Cohérentes et Incohérentes UV, VUV et X - Applications et développements récents
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Page(s) | C1-253 - C1-260 | |
DOI | https://doi.org/10.1051/anphys/1997049 | |
Published online | 15 February 1997 |
Ann. Phys. Fr., Vol. 22, C1 février-avril 1997, pp. C1-253-C1-260
Dépôt de films minces par ablation laser, le potentiel industriel
1
Alcatel Alsthom Recherche, route de Nozay, 91460 Marcoussis, France
2
EPM-Matformag, 25 avenue des Martyrs, 38042 Grenoble cedex 9, France
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© EDP Sciences, 1997
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