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Ann. Phys. Fr.
Volume 17, juin 1992
UVX 1992 - 1er Colloque sur les Sources Cohérentes et Incohérentes UV, VUV et X - Applications et développements récents
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Page(s) | 133 - 140 | |
DOI | https://doi.org/10.1051/anphys/1992026 | |
Published online | 01 June 2004 |
Ann. Phys. Fr., Vol. 17, C1 juin 1992, pp. 133-140
Intérêt des sources X pour la production en microélectronique
Laboratoire de Microstructures et de Microélectronique, L2M/CNRS, 196 avenue Henri Ravera, BP. 107, 92225 Bagneux Cedex, France
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© EDP Sciences, 1992
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