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Ann. Phys. Fr.
Volume 19, octobre 1994
UVX 1994 - 2e Colloque sur les Sources Cohérentes et Incohérentes UV, VUV et X - Applications et développements récents
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| Page(s) | C1-73 - C1-85 | |
| DOI | https://doi.org/10.1051/anphys/1994022 | |
| Published online | 01 June 2004 | |
Ann. Phys. Fr., Vol. 19, C1 octobre 1994, pp. C1-73-C1-85
Applications aux microtechniques de la photolithographie profonde par UV et par rayonnement synchrotron
Laboratoire de Physique et Métrologie des Oscillateurs du CNRS, Associé à l'Université de Franche-Comté-Besançon, 32 avenue de l'Observatoire, 25044 Besançon cedex, France
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© EDP Sciences, 1994
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